摘要:三坐標測量機在當今社會應用廣泛，尤其是機械加工行業。而隨著社會的發展，人們越發追求完美，并且在原有的基礎上變得精益求精。所以對三坐標測量機的性能要求更加的嚴格。本文中針對三坐標測量機展開設計，第一步就是確定好本次設計的產品基本尺寸大小，接著設計好其加工工藝，并就能此步驟挨個設計所需機構，運用相關公式計算好每個零件的具體參數值，并對其進行校核。確保整個的設計都能保證產品生產的正常進行，做到精益求精，滿足人們的生活和生產要求。本文多次運用對比的方法，優中選優，充分保證了三坐標測量機的性能，實現其測量結果的準確度。本次設計選擇使用燕尾型氣體靜壓式導軌，并對其優點進行了詳細的介紹。最后對測量誤差進行了分析，總的來說就是實現精密測量，確保測量結果的有效性。

關鍵詞 超精密；氣靜壓；高精度；精密測量

目錄

摘要

Abstract

1 緒  論-3

1.1-課題的研究背景及意義-3

1.2-精密測量的研究現狀-3

1.3-精密測量的關鍵技術-5

1.3.1 直線導軌-5

1.3.2 傳動系統-6

1.3.3 測量技術-6

1.4 課題研究內容-6

2 三坐標測量機整機機構設計-7

2.1  總體布局-7

2.2床身材料選用-8

2.3  導軌的設計-9

2.4  進給傳動方式的選擇-12

2.4.1  進給絲杠-12

2.4.2  鋼絲和鋼索傳動-12

2.4.3  摩擦驅動-12

2.5  測量儀整體結構設計-13

2.6  測量儀的工作原理-14

3 測量儀的主要零部件的設計-15

3.1  移動橋的設計-15

3.2  溜板的設計-16

3.3  電機選型-17

3.4  環境控制平臺-20

3.4.1  溫度控制-20

3.4.2  隔振-20

3.5  光柵尺的選型-21

4 測量儀精度分析-22

4.1  測量儀誤差源-22

4.2  測量儀精度分析-23

4.2.1 測量表的精度-23

4.2.2 數學模型誤差-24

4.2.3  因測桿受力產生的誤差-24

5 結束語-26

6 致謝-27

參考文獻-28