摘要：對于本課題的研究,通過COMSOL軟件建立一個一維等離子體直流放電模型，模擬了低氣壓氬氣介質阻擋放電均勻放電的整個過程。通過對模型和計算結果的了解與研究，以及對不同氣壓和電壓下電子密度和電子溫度、氬離子密度和激發態氬原子密度時空分布的分析。在其他參量恒定不變的情況下，計算結果表明：隨著低氣壓數值以及高電壓幅值的改變，等離子體參量均有所變化。其一，當變量為氣壓時，對于同一時刻，電子密度和電子溫度峰值均隨著氣壓的減小而不斷地增大；同時，氬離子雖按周期運動卻隨位置而無規則變化；而對于同一位置而言，激發態氬原子密度卻隨著氣壓的降低不斷地增加。其二，當變量為氣壓時，對于同一時刻，電子密度峰值隨著電壓的增加而先增加后減小；氬離子密度峰值隨之先增大后減小；電子溫度峰值和激發態氬原子密度峰值均隨之而增加；

關鍵詞：介質阻擋放電；低氣壓；等離子體；仿真模擬

目錄

摘要

Abstract

1 緒論-1

1.1 介紹-1

1.1.1 氬氣的可行性-1

1.1.2等離子體-2

1.2 介質阻擋放電-4

1.2.1 低氣壓下介質阻擋放電特性應用-4

1.3 畢業設計（論文）研究內容-5

2 低氣壓氬氣介質阻擋放電特性的模擬-6

2.1 理論模型-6

2.1.1模型定義-6

2.1.2域方程-7

2.1.3邊界條件-8

2.2模擬結果與分析-9

2.2.1不同氣壓下氬氣介質阻擋放電特性-10

2.2.2不同電壓下氬氣介質阻擋放電特性-15

結    論-22

參 考 文 獻-24

致    謝-25