摘要:  綜述了透明導電氧化物(TCO) 薄膜的特性、應(yīng)用及制備技術(shù)的發(fā)展, 重點討論了磁控濺射、脈沖激光沉積、溶膠- 凝膠等制備技術(shù)和柔性襯底TCO 薄膜的制備狀況、進展及發(fā)展趨勢, 并指出改進TCO 薄膜制備技術(shù)的努力方向應(yīng)體現(xiàn)完善薄膜性能、降低反應(yīng)溫度、提高控制精度、降低制備成本和適應(yīng)集成化等趨勢, 而制備方法的選擇則應(yīng)根據(jù)薄膜的性能要求和不同的應(yīng)用目的而不同。

關(guān)鍵詞: 透明導電氧化物，p型CuAlO2薄膜，透過率，光電特性，制備工藝

目錄

摘要

Abstract

1  引言-3

2  透明導電氧化物薄膜種類-3

3  透明導電氧化物薄膜的應(yīng)用-4

3.1  平板顯示器的應(yīng)用-4

3.2  太陽能電池-5

3.3  透明熱反射膜-5

4  透明導電氧化物薄膜的制備工藝-5

4.1　CuAlO2 的結(jié)構(gòu)-5

4.2  CuAlO2薄膜的制備方法-7

4.2.1  磁控濺射法-7

4.2.2  脈沖激光沉積法（PLD）-8

4.2.3  溶膠-凝膠法-9

4.3  p型CuAlO2的性能-10

4.3.1  光學性能-10

4.3.2  電學性能-11

4.3.3  其他性能-11

4.4  討論與展望-11

結(jié)論-13

參考文獻-14

致  謝-15