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      ICP等離子體流體模型的低壓極限測試.doc

      資料分類:理工論文 上傳會員: LYA0228 更新時間:2021-10-27
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      摘要:感性耦合等離子體(即ICP)具有密度高、裝置簡單以及利于我們在生產中進行控制的優(yōu)點,因此在許多工業(yè)生產之中得到了大量的應用。另一方面,射頻感性耦合等離子體還具有放電氣壓低,靈敏度高的優(yōu)點,在工業(yè)的生產以及工程的制造等領域有著廣泛的應用。因此,探究感性耦合等離子體的放電發(fā)生條件,對耦合等離子體的性質進行不同方向的研究,成為越來越多科研工作者的工作目標。

      本文利用COMSOL軟件對感性耦合等離子體的放電發(fā)生條件進行數(shù)值模擬,利用了虛擬模擬實驗構建耦合等離子體流體模型,采用了數(shù)值模擬以及控制變量這兩種主要的方法來測試在不同條件下氣體放電的不同結果與現(xiàn)象,對感性耦合等離子體進行定性分析,以此來探究不同條件下的感性耦合等離子體的電離發(fā)生與否,通過此種方法,來探究感性耦合等離子體的性質,對耦合等離子體有進一步的認識與了解。

       

      關鍵詞:感性耦合等離子體;流體模型;數(shù)值模擬;氣體放電

       

      目錄

      摘要

      Abstract

      1 引言-1

      1.1 等離子體的簡介及應用-1

      1.2感性耦合等離子體的特性-1

      2 感性耦合等離子體流體模型的構建-3

      2.1 COMSOL軟件的簡介以及應用優(yōu)點-3

      2.2流體模型構建的實驗流程-3

      2.3功率與最低氣壓極限值的關系-4

      2.4溫度與最低氣壓極限值的關系-6

      2.5頻率對氣體放電的影響-8

      3研究方法-10

      3.1數(shù)值模擬-10

      3.2控制變量-10

      4 一些外部參數(shù)對ICP影響的研究情況-12

      4.1氣體參數(shù)-12

      4.2發(fā)生腔室的幾何參數(shù)-12

      4.3線圈的結構參數(shù)-12

      4.4電源參數(shù)-13

      5對虛擬仿真實驗的評估-14

      結論-15

      參考文獻-16

      致謝-17

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      上傳會員 LYA0228 對本文的描述:射頻感性耦合等離子體具有低壓高密、均勻性好、發(fā)生裝置簡單以及與傳統(tǒng)等離子體相比具有很高的性價比的特點,因此,它在半導體制造業(yè)以及材料科學領域得到了廣泛的應用,它在......
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