摘要：等離子體物理和應(yīng)用是一項具有全球性影響的重要科學(xué)和工程，它直接影響著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和許多傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型。根據(jù)不同的激勵方式、工作壓力和電極配置，形成不同的放電模式，不同的放電模式對應(yīng)于寬的參數(shù)范圍和特性的差異。

低壓輝光放電或常壓直流輝光放電的經(jīng)典結(jié)構(gòu)仍被廣泛應(yīng)用，但采用射頻、磁場或微波激勵等新的激發(fā)模式，其作用越來越重要，可以有效地改善等離子體密度。能量吸收效率。這些不同的激勵模式與工作壓力和放電電位相結(jié)合，形成各種等離子體放電模式，特別是等離子體放電模式的新概念，如微等離子體等。

本文簡要介紹了等離子體的概念、基本物理機制、幾種不同放電模式的特點以及COMSOL軟件的應(yīng)用。

關(guān)鍵詞：等離子體；等離子體放電模式；COMSOL軟件

目錄

摘要

Abstract

1.緒論-1

1.1 等離子體的概念-1

1.2 發(fā)展-2

1.3 理論基礎(chǔ)-2

1.4 研究方法-3

1.5理論分析-3

2.實驗部分-5

2.1 COMSOL軟件介紹-5

2.2等離子體水放電設(shè)備模型構(gòu)建-6

2.3 放電等離子體的生成模式-7

2.3.1水膜無聲放電方式-7

2.3.2 水霧電暈放電方式-7

2.3.3 水中氣泡放電方式-8

2.4 等離子體診斷-8

2.5 等離子體的基本放電模式-10

2.5.1直流輝光放電-10

2.5.2 射頻電容耦合放電-10

2.5.3 脈沖輝光放電-10

2.5.4 大氣壓輝光放電-11

2.5.5 介質(zhì)阻擋放電-11

2.5.6 電暈放電-11

2.5.7 磁控放電-11

2.6 低氣壓高密度等離子體-12

3.實驗數(shù)據(jù)-13

4 結(jié)論-21

參考文獻-21

致謝-22